Bimorph结构微热执行器的节点分析方法

摘要：

MEMS系统设计的节点分析法已成功应用于机电耦合器件的仿真,且已表明是一种简单实用的方法.本文在已有静态模型的基础上,通过对传热行为的分解以及引入等效质量,建立了Bimorph结构热执行器的动态节点模型.同时选取在电子行业得到普遍应用的电路仿真软件SPICE作为模型仿真平台,并将建立的节点分析模型应用于电路仿真平台.此模型数值实验证明,此方法和有限元分析软件ANSYS的仿真结果吻合较好,而且计算效率高,可在实际器件设计中作为参考.

关键词：Bimorph结构电热微执行器、节点分析法、等效质量

所属期刊栏目：28

分类号：TN402(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2007-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：728-733