用混合Petri网对微开关加工系统建模和仿真

摘要：

半导体加工系统是一个非常复杂的、离散事件和连续时间相结合的混合动态系统,离散Petri网不能很好地对这样的系统进行建模和分析,混合Petri网可以很好地描述半导体加工系统的静态属性及动态行为.实际上,运用离散Petri网将面临状态爆炸以及仿真的高消耗的问题.混合Petri网用来对半导体加工系统进行建模和仿真,这类模型用于微开关加工流程的建模和仿真,证明结果很精确并且仿真速度很快.

关键词：半导体加工系统、混和Petri网、微开关

所属期刊栏目：25

分类号：TM5(电器)

在线出版日期：2005-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：98-100