激光干涉仪测量失真正弦波形位移误差估计式

魏燕定

浙江大学;

摘要：

本文在分析介绍了激光干涉仪测量位移原理的基础上，指出了标准振动台稳态正弦绝对校准法中，激光干涉仪测量的只是工作台面运动的路程而非矢量位移，因此对于测量含有谐波失真的正弦波形将引入测量原理性误差。文中利用波形加速度失真度系数详细推导并给出了谐波失真所引入的测量误差的估计式，对准确评价传感器校准精度具有重要意义，同样也有助于我们对激光干涉仪测量精度的认识。

关键词：激光干涉仪、误差估计、标准振动台、失真波形

所属期刊栏目：22

分类号：TH7(仪器、仪表)

资助基金：国家重点实验室基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：199-202