采用微机械加工技术的微光学加速度

摘要：

表面微机械加工技术是实现单片集成微光学系统的一种新方法。本文介绍一种新型的采用微机械加工技术的微型光学加速度计，包括设计、关键器件的加工和测试，它是基于光线和光闸相互作用引起通光量变化的工作原理。这一微光学加速度计包含一个2μm厚的多晶硅光闸，光闸采用微弹簧支撑在基片上，微弹簧是长度为200μm的多晶硅褶曲梁，硅基片和微结构之间所夹的牺牲层采用氢氟酸湿法刻蚀去除。光闸设计为一个质量弹簧系统，对加速度力产生响应。

关键词：光学加速度计、微机械、微机电系统

所属期刊栏目：22

分类号：TH7(仪器、仪表)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：162-164