偏振光位移传感器原理与方法研究

摘要：

本文提出了基于马吕斯定律的偏振光直线位移传感器.对其检测原理与方法以及各主要构成环节进行了讨论.给出了使角度差与直线位移成正比的"同速差动"结构.介绍了消除光学系统非线性的线性化电路方案.此传感器具有光机电结合、量程大、灵敏度高、非接触传感等特点,为直线位移测量提供了新的方法与手段.

关键词：直线位移传感器、偏振光检测、马吕斯定律

所属期刊栏目：20

分类号：TH7(仪器、仪表)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：221-224