光栅横向位移遥测传感器的焦深分析

摘要：

本文研制了基于光栅多普勒效应的横向位移遥测传感器,被测位移和光束方向垂直.成功地实现了2～50米的远距离光栅横向位移测量.针对不同的测量光路在理论和实验上提出并证明了系统焦深范围的计算公式.本系统分辨力为0.4μm.

关键词：光栅多普勒效应、焦深、横向位移测量、遥测

所属期刊栏目：20

分类号：TH7(仪器、仪表)

资助基金：中国科学院资助项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：218