钽铝薄膜中功率衰减器的设计

摘要：

介绍了一种用于微波电路的中功率薄膜衰减器的设计与制作.该衰减器是由铝原子含量为50%的Ta/Al合金薄膜制成.测试结果表明其性能优良.

关键词：Ta/Al合金薄膜、衰减器、中功率、设计

所属期刊栏目：20

分类号：TH7(仪器、仪表)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：210-212