多道成像光谱探测列阵的研究

摘要：

本文介绍一种多道成象光谱探测列阵的工作原理及设计思想.通过对器件主要技术参数的分析及低功耗扫描电路的应用,并采取场注入等平面工艺措施,使探测列阵的光敏象元结构得到改善,从而提高了探测器的响应度和动态范围,光谱分析范围则可由近红外区到紫外区.最后给出主要参数的实验数据.

关键词：多道成像光谱、响应度、紫外光

所属期刊栏目：20

分类号：TH7(仪器、仪表)

资助基金：中国科学院资助项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：148-151