LSI薄膜台阶测量仪的研制

摘要：

本文介绍了一台实用化的用于LSI薄膜台阶在线检测的台阶测量仪,它采用精密机械--LVDT--信号处理--计算机控制的方案.使用方便,实现了台阶的自动测量.实验表明:仪器重复测量精度可达±0.0147μm,很好地满足了LSI生产线上的要求.

关键词：台阶测量、触针、片簧支承、模糊控制

所属期刊栏目：19

分类号：TH7(仪器、仪表)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：268-273