多晶硅生产中废气处理工艺改造

摘要：

在生产多晶硅期间将会产出大量的废气,如不正确处理,将严重危及生态环境,在现代经济持续发展的背景下,环保要求越来越严格,必须采取适当策略对废气进行高效处理.对此,就多晶硅生产中废气处理工艺进行简要分析.

关键词：工艺改造、废气处理、多晶硅

所属期刊栏目：47

分类号：TQ127.2

在线出版日期：2020-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：184-185