多晶硅废气淋洗系统的应用

摘要：

废气淋洗装置是多晶硅生产线的重要组成部分。本套废气淋洗装置充分改进了传统西门子法制取多晶硅废气淋洗的工艺，实现了机械化、自动化，具有自动化程度高，氯硅烷处理能力大，工艺稳定等优点。

关键词：多晶硅、废气淋洗、刮板机

所属期刊栏目：43

分类号：X701(一般性问题)

在线出版日期：2016-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：53-54,67