提高氢化炉进料温度的措施

摘要：

四氯化硅热氢化是改良西门子法生产多晶硅的关键环节，氢化炉的稳定运行是维持系统物料平衡的决定因素。分析了四氯化硅、氢气的进料状况对氢化炉运行的影响，并提出了既提高进料的温度，又节能降耗的措施。

关键词：多晶硅、热氢化、四氯化硅、氢化炉

分类号：TQ127.2

在线出版日期：2014-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：68-70