MEMS的应用及发展前景

摘要：

MEMS是当今迅速发展的一门新兴学科.本文在对MEMS技术进行概述的基础上,列举了MEMS技术的应用,介绍了MEMS技术的发展前景.

关键词：MEMS、微电子技术、微机械系统

所属期刊栏目：5

分类号：P923(古地理学)

在线出版日期：2007-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：61-62