动态反应池电感耦合等离子体质谱仪分析半导体级盐酸中杂质

摘要：

@@ 盐酸广泛应用于半导体工业.目前,半导体器件设计的线宽更小,因此更易受到低水平杂质的影响.

机标关键词：动态反应池、电感耦合等离子体、质谱仪分析、半导体级、盐酸、杂质、Cell、Dynamic、半导体器件设计、半导体工业、线宽

所属期刊栏目：29

分类号：TH7;TP2

在线出版日期：2010-04-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：Ⅰ-Ⅱ