全玻璃平板型真空荧光光源的工艺探讨

摘要：

提出并研制出一种新型平板式全玻璃真空荧光光源(VFLS)管, 与国际上传统的真空荧光光源管比较, 新的器件在大面积碳场发射阴极, 厚膜管结构和制造工艺等方面是新颖的. 从真空荧光光源管内的工作原理出发, 分析了该器件工作时管内发生的主要物理过程, 详细介绍了研制VFLS管的制造工艺, 并讨论了此工作目前存在的问题及前景.

关键词：真空微电子学、真空荧光光源、全玻璃平板型

所属期刊栏目：16

分类号：TN27;TN873.95(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金69871029,69971011

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：294-299