RH真空泵系统泄漏故障查找的优化方法

摘要：

通过对真空泵系统分析和改进,研究出真空泵系统分段测试技术,制作了模拟测试真空室装置,实现了真空故障的快速准确查找,使查找时间缩短到原来的四分之一,为真空炉安全运行打下基础.

关键词：真空炉、真空泵、真空度

所属期刊栏目：37

在线出版日期：2019-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：19-22