半导体光刻技术及设备的发展趋势

摘要：

半导体的概念对于普通人来讲稍显陌生,但是我们的生活却又离不开它.在信息化的背景下,人们生活中对电子产品也是越发依赖.半导体主要应用于通讯、高速计算机、智能化生活等领域.信息化时代的半导体技术大部分还是受海外企业的掌控,但我国的半导体市场也在高速前进.在此以半导体光刻技术及设备的发展趋势为主题进行讨论与分析,望能对半导体光刻技术及设备的未来发展提供一些借鉴和参考.

关键词：半导体材料、光刻技术及设备、发展趋势

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2016-10-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：117-118