微纳力值测量技术发展现状与分析

摘要：

介绍了近年来微纳力值测试技术的发展现状.微纳力值测量方法、测量及研究成果,并进行了不同测试方法的对比,指出了不同测试方法的特点和适用性.基于当前微纳测量领域发展趋势,结合行业发展需求,提出了微纳力值测试技术研究应注意的问题.

关键词：微纳力值;测量技术;测量不确定度

所属期刊栏目：41

分类号：TB931(计量学)

在线出版日期：2022-02-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：68-75