动态真空校准装置的设计

摘要：

动态真空校准装置由供气系统、抽气系统、校准系统、烘烤系统、测控及分析系统五部分组成.利用快开超高真空插板阀与限流元件组合的方法, 在20ms至1s的时间范围内实现标准压力105Pa至100Pa范围的瞬态阶跃变化.采用稀薄流下DSMC法与连续流下Navier-Stokes方程相结合的模型, 确定快速膨胀过程中标准压力时间常数.动态真空校准装置预计达到的技术指标为校准范围10-1Pa～105Pa, 合成标准不确定度小于15％.

关键词：真空计量、动态真空、校准装置、非平衡态、响应时间、真空计

所属期刊栏目：39

分类号：TB771(真空技术)

资助基金：国家自然科学基金61501212;甘肃省科技重大专项计划17ZD2WA001

在线出版日期：2019-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：35-39