深微孔内径测量技术研究

摘要：

介绍了一种基于高准确度电感传感器和红宝石测头,在测长机上实现深微孔径测量的方法,解决了内径的Φ1mm～Φ5mm、深度在40mm以下的深微孔内径的测量问题.通过对深微孔径测量装置测量不确定度的分析,在95％置信概率下,装置的测量不确定度为0.6μm,满足测量要求.

关键词：深微孔径测量、电感传感器、红宝石测头

所属期刊栏目：32

分类号：TH741(仪器、仪表)

在线出版日期：2012-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：6-9