MOCVD法制备高温抗氧化铱涂层研究进展

摘要：

主要概述了用MOCVD法制备金属铱涂层的原理以及工艺参数对制备涂层的影响,并对铱做保护层的铱/铼喷管的寿命进行了预测.指出MOCVD法制备铱涂层的关键问题是沉积前驱体的选择、沉积工艺参数的优化,并对MOCVD法制备铱涂层的最新研究进展作了评述,指出了今后的研究发展方向.

关键词：MOCVD、铱涂层、高温、抗氧化

所属期刊栏目：33

分类号：TG1(金属学与热处理)

资助基金：航空资助项目00 G53 066

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-3,9