微坑超声复合微细加工试验研究

摘要：

提出用超声复合电加工方法制作微小结构,并分析微细超声、超声复合电火花、超声复合电解微细加工机理;用微细放电组合技术制作多种截形微细工具电极;完善超声复合电加工试验系统,进行多种材料、形状微结构超声复合加工试验.结果表明:超声复合加工是制作硬脆材料微结构的有效方法;超声复合电火花加工金属材料微结构有良好的精度及稳定性;超声复合电解加工具有效率高、精度好的技术优势.

关键词：超声加工、微细加工、电火花、电解

所属期刊栏目：25

分类号：TB383(工程材料学)

资助基金：江苏省自然科学基金项目BK2009194

在线出版日期：2011-01-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：22-28