添加铝和硅对TiN的物理和力学性能的影响

摘要：

@@ TiN膜具有优异的物理和力学性能,它是最成功的高级表面镀层之一.基于它的这种重要特性,把它作为硬质镀层材料应用于切削工具,提高工具的寿命和性能.然而,在500℃以上的氧化气氛中工作时,会在TiN上形成一氧化层,导致镀层性能的很快下降.

在线出版日期：2005-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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