10.13373/j.cnki.cjrm.XY20030024
无需激活Ti基吸氢材料的制备及性能研究
真空工作腔内的残余氢气会对砷化镓功率放大器造成严重危害,在器件内部预置吸氢材料是解决这一问题的有效技术途径.由于砷化镓器件内部有低熔点的焊料,要求吸氢材料在使用时应避免高温激活处理程序.报道一种满足该要求的无需激活吸氢材料,该材料以吸氢量较大的钛箔作为基体材料,经酸洗处理后,采用磁控溅射工艺在其表面沉积一层钯膜.通过扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)表征了Pd膜的表面及截面的微观形貌和晶体结构,通过X射线光电子能谱(XPS)分析了Pd膜的表面元素价态,利用定容法测试了材料的吸氢性能.结果表明,Pd/Ti样品的吸氢主体是Ti箔,合适的酸洗工艺可以有效去除Ti箔的氧化层,有利于提高材料的吸氢性…展开v
吸氢材料、酸洗、磁控溅射、吸氢性能
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TB741(真空技术)
国家自然科学基金51671034
2023-01-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
1567-1572