期刊专题

10.13373/j.cnki.cjrm.XY18090032

单一相ZrB2靶材制备及镀膜表征

刘宇阳1徐冉1桂涛1王志刚2王星明1龚树河2
1.中核北方核燃料元件有限公司; 2.有研工程技术研究院有限公司;
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以氧化锆(ZrO2)、硼酸(H3BO3)和碳粉(C)为原料,硼(B)粉为添加剂,采用碳热还原法合成硼化锆(ZrB2)粉体,在真空碳管炉中,采用氩气气氛保护,加热升温至1900℃合成ZrB2粉体,然后利用热压烧结,在70 MPa、温度1980℃、保温保压时间4h的热压工艺制备ZrB2靶材,对制备获得的ZrB2靶材进行溅射镀膜表征.通过X射线衍射(XRD)分析产物物相,扫描电镜(SEM)观察产物微观形貌.研究结果表明:添加5%(质量分数)的B粉,可合成单一相ZrB2粉体,颗粒平均尺寸为2~3 μm,合成的ZrB2粉体具有良好的烧结活性,在不添加任何烧结助剂的条件下采用热压烧结工艺可获得相对密度为93%的单…展开v

硼化锆、碳热还原、添加剂、靶材、镀膜

43

TQ174.6

国家自然科学基金项目51674035

2019-11-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共6页

1003-1008

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稀有金属

北大核心CSTPCDEI

0258-7076

11-2111/TF

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2019,43(9)

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