微观结构对MOCVD制备氧化铬涂层氢渗透性能的影响

摘要：

利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)在316L不锈钢表面分别制备了(110)择优取向和随机取向的氧化铬涂层.利用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射分析(XRD)分别对涂层的显微结构和相结构进行了表征.采用气相氘渗透方法对涂层的氢渗透性能进行测试.结果表明,择优取向的氧化铬涂层氢渗透率为P=4.58×10-6exp(-112688/RT)(mol·m-1·s-1·Pa0.5),而随机取向的氧化铬涂层氢渗透率为P=1.20×10-5exp(-102057/RT)(mol·m-1·s-1·Pa0.5).在873,923,973 K时,择优取向涂层的氢渗透阻挡因子(PRF)分别为38.2,21.1和13.1,而随机取向涂层的PRF仅为2.6,1.9和1.5.对涂层显微结构的分析表明,择优取向的氧化铬涂层晶粒规则排列,易于得到结构致密的涂层;而随机取向的涂层,晶粒排列杂乱无序,易在涂层中产生通孔等缺陷,使得涂层的氢渗透性能出现大幅降低.

关键词：阻氢渗透涂层、氧化铬、金属有机化学气相沉积、微观结构

所属期刊栏目：42

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：国家国际科技合作专项项目2013DFR50770;国家科技部"973"项目2013GB110005

在线出版日期：2018-06-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：443-448