Φ200 mm CZSi复合式热场的数值模拟研究

摘要：

对国产TDR-80型单晶炉的复合式热场系统进行了优化设计, 建立了不同条件下的理论模型, 采用有限元数值模拟的方法分析了主加热器的延伸率、埚径比和熔体高度变化对直拉硅单晶生长中的温度梯度和热流密度分布的影响, 为提高晶体生长速率和质量提供了必要的理论依据.

关键词：CZSi、热场、有限元、双加热器、热对流

所属期刊栏目：32

分类号：O782;TN304(晶体生长)

资助基金：国家自然科学基金60576002

在线出版日期：2008-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：161-164