镍对多弧离子镀制备的铬基金属衬底性能的影响

摘要：

利用多弧离子镀和选择腐蚀相结合的技术在Si(111)衬底上首次制备了具有择优取向的铬基金属衬底,该金属衬底具有与外延级硅衬底一致的表面粗糙度及平整度.采用SEM,EDX,XRD和显微硬度计对铬基金属衬底进行了表征.研究表明:镍铬共镀有利于获得(110)择优取向的铬基金属衬底,同时镍铬共镀对表面形貌、显微硬度、平整度均存在一定影响.

关键词：多弧离子镀膜、铬基金属衬底、择优取向、表面粗糙度

所属期刊栏目：31

分类号：TN305.99(半导体技术)

资助基金：国家新技术研究发展基金863计划2003AA302160

在线出版日期：2007-11-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：515-519