溅射超薄Ag膜中的晶格畸变

摘要：

用直流溅射法制备了厚度从11.9到189.0 nm的超薄Ag膜.X射线衍射(XRD)分析表明:样品中的Ag均为面心立方多晶结构,粒径从6.3到14.5 nm.通过晶格常数的计算发现:晶格畸变为收缩,且随着粒径的减小收缩率增加,最大值为1.1%.结合不同方法制备纳米Ag材料的研究结果,讨论了影响晶格畸变的主要因素.

关键词：直流溅射、超薄Ag膜、晶格畸变

所属期刊栏目：30

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金59972001;安徽省自然科学基金01044901;安徽省教育厅科研项目2003kj025;安徽省教育厅科研项目2004kj030;安徽省人才基金2004Z029;安徽大学校科研和教改项目

在线出版日期：2006-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：444-447