CVD方法制备ZnSe系统中尾气的处理

摘要：

CVDZnSe是目前光学性能最好的红外光学材料之一.但在制备CVDZnSe时, 尾气中未反应完全的剧毒硒化氢气体, 对操作人员及环境的危害很大.采用逆流填料塔来吸收CVD方法制备ZnSe系统中的剧毒尾气硒化氢.为加快传质速率, 提高吸收率, 选用NaOH溶液作吸收液;利用H2Se气体与此溶液反应, 降低气体在水溶液中的浓度, 加大传质推动力;选择了具有高效分离因子的填料以减小塔身的高度和直径.并且对循环吸收液进行氧化, 双重过滤等处理.最后用型号为TX-FMD的H2Se检测仪测量处理后的尾气中H2Se气体的含量, 达到排放要求.

关键词：H2Se气体、逆流填料塔、化学吸收、传质

所属期刊栏目：29

分类号：TN304(半导体技术)

在线出版日期：2005-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：738-741