大直径直拉硅单晶炉热场的数值模拟

摘要：

数值模拟技术已经成为分析和发展工业化晶体生长工艺必不可少的工具.提出了直拉硅单晶生长过程温度分布的有限元模拟,通过对300mm单晶炉内热场的数值模拟计算,得出了晶体生长不同阶段的单晶炉内温度分布及相应的温度梯度和热流密度分布.

关键词：直拉硅单晶、热场、数值模拟

所属期刊栏目：28

分类号：TN304.1(半导体技术)

资助基金：国家计委科研项目

在线出版日期：2005-01-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：890-893