铝金属基板的制备及性能

摘要：

利用阳极氧化方法研制了应用于高密度封装中的铝金属基板.对其性能进行了测量.结果表明,在草酸电解液中获得的阳极氧化铝基板的膜层具有良好的电阻率,可达到1×1014～1×1015Ω@cm数量级.其介电常数低于10,随氧化膜层厚度增加而减小.对膜层进行的后续封孔处理提高了膜层的绝缘性能及耐蚀性.提高成膜温度有利于改善阳极氧化铝基板的耐热震性能.

关键词：金属材料、铝基板、氧化膜层、封孔处理

所属期刊栏目：27

分类号：TG146.2+1(金属学与热处理)

资助基金：教育部留学回国人员科研启动基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：335-338