10.3969/j.issn.0258-7076.2002.06.002
多晶硅锭的制备及其形貌组织的研究
研究了采用定向凝固法制备多晶硅锭的凝固速率与表面形貌、晶粒尺寸以及显微组织缺陷的关系. 找出了晶锭不出现细晶的临界生长速度, 并对固液界面形状进行了探讨. 多晶硅锭的制备工艺主要包括定向凝固法及浇铸法. 采用定向凝固法制备多晶硅锭, 通过改变降埚速率控制晶体生长速度, 进而找出晶粒大小与降埚速率的关系; 同时通过改变石英坩埚、石墨托厚度, 冷源半径等几何参数来达到控制固-液界面形状的目的.
定向凝固、多晶硅锭、显微缺陷
26
TN304.1(半导体技术)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
416-419