期刊专题

10.3969/j.issn.0258-7076.2002.06.002

多晶硅锭的制备及其形貌组织的研究

刘秋娣林喜斌林安中
有研科技集团有限公司;
引用
研究了采用定向凝固法制备多晶硅锭的凝固速率与表面形貌、晶粒尺寸以及显微组织缺陷的关系. 找出了晶锭不出现细晶的临界生长速度, 并对固液界面形状进行了探讨. 多晶硅锭的制备工艺主要包括定向凝固法及浇铸法. 采用定向凝固法制备多晶硅锭, 通过改变降埚速率控制晶体生长速度, 进而找出晶粒大小与降埚速率的关系; 同时通过改变石英坩埚、石墨托厚度, 冷源半径等几何参数来达到控制固-液界面形状的目的.

定向凝固、多晶硅锭、显微缺陷

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TN304.1(半导体技术)

2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

416-419

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稀有金属

北大核心CSTPCDEI

0258-7076

11-2111/TF

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2002,26(6)

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