化学气相沉积技术与材料制备云南省应用基础研究基金

摘要：

概述化学气相沉积技术的一般原理与技术,总结化学气相沉积技术在材料制备方面的发展与应用状况,着重介绍化学气相沉积技术在制备贵金属薄膜和涂层领域的最新进展.

关键词：化学气相沉积、材料制备、贵金属

所属期刊栏目：25

分类号：TG174.494(金属学与热处理)

资助基金：云南省应用基础研究项目2000E0085M

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：364-368