10.3969/j.issn.0258-7076.2000.05.013
硅单晶材料发展动态
概述了现代特大规模集成电路对硅单晶片的质量要求、直拉硅单晶生长工艺及晶片加工技术研究进展和硅单晶材料市场现状及发展趋势.
直拉单晶、缺陷、完美硅、快速拉制、晶片加工
24
TG146(金属学与热处理)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
369-372
10.3969/j.issn.0258-7076.2000.05.013
直拉单晶、缺陷、完美硅、快速拉制、晶片加工
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TG146(金属学与热处理)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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