溅射电压和铝掺杂对透明导电氧化锌薄膜性能的影响

摘要：

研究了用微波ECR等离子体反应溅射制备透明导电氧化锌薄膜工艺中靶压及铝的掺入对薄膜电阻率和透光率的影响, 制得电阻率为10-5 Ω.m数量级, 可见光平均透光率大于80%的透明导电ZnO∶Al (AZO) 膜.

关键词：透明导电膜、ZnO∶Al、ECR微波等离子体反应溅射

所属期刊栏目：24

分类号：TG146(金属学与热处理)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：154-156