硅片抛光剂SiO2溶胶的制备和性能研究

摘要：

以NaOH和有机碱为介质,制成两种乳白色碱性SiO2溶胶,溶胶粒径在50～70nm范围,性能稳定.当SiO2浓度低于50%(质量分数)、pH=8.5～11时,溶胶可以长时间存放而不沉淀分层.超微SiO2颗粒细制成的两种SiO2溶胶粘度低,能通过中速滤纸.

关键词：SiO2溶胶、硅片抛光剂、超微细、稳定性

所属期刊栏目：24

分类号：O6(化学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：30-32