钛表面气体氮化的工艺研究

摘要：

研究了氮化温度、氮化时间、氮气压力和流量等因素对钛氮化反应的影响,确定了钛表面气体氮化的工艺参数, 并对氮化覆层的相组成及各项性能进行了研究.

关键词：钛、表面氮化、氮化钛

所属期刊栏目：22

分类号：O6(化学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：295-299