In-As-Sb-C-H五元系热力学分析与In(As,Sb) MOVPE工艺设计

摘要：

本文模拟MOVPE工艺设定热力学条件, 建立了涉及5个相和54个气相物种的In-As-Sb-C-H五元系热力学系统. 采用先进的热力学计算方法, 对该系统进行了热力学分析. 计算结果与实验结果比较发现, 热力学计算能较好地预测系统相关系及半导体相成分.

关键词：热力学分析、MOVPE、In、As、Sb、C、H

所属期刊栏目：22

分类号：O6(化学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：216-218