MOCVD化合物半导体材料及其应用

摘要：

总结了我国在MOCVD化合物半导体材料方面的最新进展, 重点为MOCVD化学、Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族半导体材料及其在光电和微波器件中的应用. 为进一步发展我国的MOCVD材料提出了若干建议.

关键词：金属有机物化学气相沉积(MOCVD)、MOCVD半导体材料、MOCVD半导体器件

所属期刊栏目：22

分类号：TB3(工程材料学)

资助基金：国家高新材料委员会资助项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：164-168