金属基体上YSZ过渡层及YBCO薄膜结构与沉积条件的关系

摘要：

研究了两种在金属基体 (Hastelloy-C) 上沉积的、以钇稳定的ZrO2 (YSZ) 为过渡层的YBa2Cu3O7-y薄膜结构, 并讨论了结构与沉积条件的关系. 当沉积速率低时, YSZ层致密、均匀, 存在织构取向, 且与基体连接良好; 而高速率沉积的YSZ层疏松, 与基体结合差. YBCO薄膜的结构和性能与沉积时的基体温度相关.

关键词：YBCO薄膜、YSZ过渡层、微结构、金属基体

所属期刊栏目：22

分类号：O6(化学)

资助基金：中国科学院资助项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：35-38