0.22 THz折叠波导慢波结构微细WEDM加工技术

摘要：

0.22 THz 折叠波导慢波结构具有尺寸小，刚度低，精确度与表面光洁度要求高，结构复杂的特点。若采用微数控铣削加工方式，加工产生的应力易造成零件变形。微细电火花线切割加工技术为无刚性电蚀加工，非常适合慢波结构的微细加工。本文从微能脉冲电源、微细电极丝、表面质量、表面残余应力等方面，介绍了0.22 THz 折叠波导慢波结构微电火花线切割加工技术，实践证明：采用微电火花线切割加工工艺加工出的0.22 THz 折叠波导慢波结构，经测试满足了设计要求。

关键词：折叠波导慢波结构、微细电火花线切割、表面质量、表面残余应力

分类号：TN124+.2(真空电子技术)

资助基金：中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室资助项目2012CJMZZ00007

在线出版日期：2014-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：330-333