激光清洗技术在微电子领域的应用

摘要：

本文介绍了激光清洗技术在微电子领域的应用,对该技术在清除细微颗粒方面所具有的独到的优越性进行了探讨.

关键词：激光、清洗、应用

所属期刊栏目：2

分类号：TN24(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：29-34