关于离子污染测试的发展和讨论

摘要：

本文着重介绍用于对清洗后电路板上的残余离子污染物的测试手段,国外关于此领域的相关标准以及这些相关标准和手段的发展过程.比较了不同仪器的一些主要参数和应用现状,部分用户需求动向和如何满足的方法.

关键词：清洗、离子污染物测试、电阻率、电导率、原子吸收

所属期刊栏目：2

分类号：TN41(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2004-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：67-73