精密电子设备带电清洗技术的应用与理论研究

摘要：

本文包括三方面主要内容:第一,把带电清洗技术作为系统工程来研究,建立了带电清洗技术的质量保障体系.该体系在施工实践中已证明是行之有效的.第二,研究并建立了以测量离子污染度来评价带电清洗洗净效果的方法,试验数据不仅证明了对运行设备进行清洗的必要性,而且证明了该法在评价带电清洗洗净效果方面的可行性.此外,还研究了以扫描电镜与能谱分析来评价带电清洗洗净效果的方法,也获得了很好的效果.第三,利用计算机实现精确的设计、计算,建立模型并求解.这项研究获得了成功.

关键词：带电清洗、离子污染度、扫描电镜、能谱分析

分类号：TN0(一般性问题)

在线出版日期：2004-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：31-37