双流体喷射洗净技术

摘要：

@@ 为了进一步防止大气臭氧层破坏及地球温室效应的产生,近年来日本洗净行业开展了多种技术的研究,其中在削减药液使用量、降低环保负荷方面的洗净技术研究中取得了很大突破.

机标关键词：流体喷射、地球温室效应、臭氧层破坏、洗净技术、多种技术、使用量、药液、行业、日本、环保、负荷、大气

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2004-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：24-25