EFPI式光纤声压传感器中敏感薄膜设计与分析

摘要：

针对非本征F-P干涉仪式光纤声压传感器中的声压敏感薄膜性能提升,设计并制备了不同厚度和不同增敏环数的声压敏感薄膜结构.对不同声压敏感薄膜感知声压的性能进行测试.结果表明:声压敏感薄膜的厚度越薄,其声压灵敏度越大,对比400 nm厚度和1000 nm厚度的声压敏感薄膜,发现在相同声压的声波作用下,前者的输出电压比后者大一个数量级.此外,增加增敏环数可以有效地释放应力,降低薄膜的刚性,使得声压传感器的性能有所提升.

关键词：微光电子机械系统、F-P干涉、光纤传感、声压传感器、增敏结构

所属期刊栏目：5

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2021-06-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：35-37