浅谈微电子器件的可靠性

摘要：

随着微电子技术的发展,微电子产品凭借体积小、功能全、智能化等特点越来越受到市场的欢迎,与此同时微电子的可靠性也随之被大家关心和重视,本文则对微电子器件的可靠性进行了研究,得出微电子的可靠性受热载流子、金属化、静电放电、栅氧化层等因素的影响,并针对这些原因,本文提出了相应的解决措施,旨在提高微电子器件的可靠性.

关键词：微电子器件、可靠性、热载流子、静电放电

所属期刊栏目：2

分类号：TN601(电子元件、组件)

在线出版日期：2018-11-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：54-55