ODF真空贴合系统研究

摘要：

文章介绍了TFT-LCD生产中,液晶滴下(One Drop Filling,ODF)所涉及真空贴合系统(Vacuum Align System,VAS)的结构及其发展情况,概述了VAS的工艺过程,重点介绍了该系统中真空单元、基板吸附单元和基板对位单元及其发展.

关键词：液晶滴下、真空贴合系统、吸附单元、精密对位单元

分类号：TB79(真空技术)

在线出版日期：2013-06-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：34-37