科锐推出150毫米4H N型碳化硅外延片
科锐公司日前宣布推出高品质、低微管的150毫米4HN型碳化硅外延片。科锐通过推出更大直径的外延片，从而继续引领碳化硅材料市场的发展。此项最新技术能够降低设备成本，并能够利用现有150毫米设备工艺线。新型150毫米外延片拥有高度均一的厚度为100微米的外延层，并已开始订购。
硅外延片、碳化硅、N型、设备成本、材料市场、最新技术、大直径、工艺线
TN304.12(半导体技术)
2013-01-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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